| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科渦輪分子泵
日本ULVAC愛發科渦輪分子泵
特征
泵體與控制器分離 控制器可監控運行狀態，支持各種通訊標準。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統設計靈活。
抽速 300L/s 至 4000L/s 級產品陣容
泵旋轉范圍為 25% 至 100％
通過改變轉速來調節腔室中的壓力。
高耐久性和安全性
通過了空氣沖入測試和著陸測試等安全確認測試。
設備主要真空抽氣系統
- 半導體設備
- 蒸發器，濺射系統
- 分析設備，實驗裝置等
主真空抽氣系統，用于不產生副反應產物的輕工藝。
一般用于高真空抽真空系統。
| 型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A 質譜儀 | ||||||
| 入口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | ||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氦氣 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 系列 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 按壓率 | 注 2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 系列 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口壓力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉速 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5 分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝位置 | 在任何想要的方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 壓力 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪聲 | 分貝（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦的前級泵 | 200L/小 更多 | 500L/小 更多 | ||||||||
| 控制器 | 組成 | 分離型 | ||||||||
| 輸入電力 | 單相 AC200 ?240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 速度在額定速度的 25% 到 100% 之間變化（設置為 0.1%） | |||||||||
| 通信 | 聯系 | |||||||||
| 型號：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
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